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非UV型(CP系列)
非UV型(CP系列)

在半导体晶圆的背面研磨(背面减薄)工艺过程中,用来暂时保护晶圆表面的胶带。


特长

优越的缓冲性能

减弱了施加到晶圆的压力实现了轻易剥离的性能

适用于各种元器件


背面研磨用胶带


胶带名称SP系列CP系列
特长UV型非UV型
离型膜PET

PET

聚丙烯

粘结剂丙烯酸丙烯酸
基材聚烯烃聚烯烃


规格(代表产品)

硅晶圆用 SP系列

胶带名称SP-594M-130SP5156B-130SP-541B-205SP-537T-230SP5207M-425
基材厚度(µm)100110165100420
粘结剂厚度(µm)3020401305
粘结力
(N/25mm)
♯280-SUSUV前7.91.32.66.40.4
UV后0.10.30.50.80.3
Si晶圆UV前3.00.51.72.50.2
UV后0.10.10.20.10.1
特长
  • 薄晶圆研磨对应

  • 蚀刻对应

  • UV型

  • 薄晶圆研磨对应

  • 低翘曲

  • 低粘结力

  • UV型

  • 薄晶圆研磨对应

  • 低翘曲

  • UV型

  • 段差跟踪对应
    (~60μm)

  • UV型

  • 段差跟踪对应
    (~250μm)

  • UV型

(注)以上数据是代表值,不是保证值


硅晶圆用 CP系列

胶带名称CP9007B-130CP9003B-205BCP9079B-200CP9206M-430
基材厚度(µm)100165165420
粘合剂厚度(µm)30403510
粘结力
(N/25mm)
♯280-SUS0.91.80.50.3
特长
  • 非UV型

  • 段差跟踪对应
    (~20μm)

  • 薄晶圆研磨对应

  • 酸性蚀刻对应

  • 非UV型

  • 使用无硅离型膜

  • 非UV型

  • 段差跟踪对应
    (~250μm)

  • 非UV型

(注)以上数据是代表值,不是保证值


其它产品的介绍

除了上述产品以外,我们还提供齐全的适合各种各样用途的产品。

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